半導體產業是一個非常成熟的行業,當黄瓜视频IOS把計算機外,船上的小(xiǎo)芯片數百萬顆恒(héng)星甚至百萬晶體(tǐ)管。為了使這些微小(xiǎo)的晶體(tǐ)管工作,生產過程_在一個幹淨(jìng)的房間,集成電路製造廠需(xū)要數十億,數十億的投資,更因為需要一個幹淨的房間。
所謂的潔淨室是一種人為的環境,其中(zhōng)包含顆粒通常是好的環境(jìng)下,隨著集成電路(lù)技術的飛(fēi)速發展,也增加了製造環境(jìng)(無塵室)的(de)清潔度要求的行業,甚至大小小於1微(wēi)米的顆粒,也可能阻礙(ài)產品操作(zuò)或減少其使用壽命。
由於(yú)納米技術的興起,半導(dǎo)體關鍵尺寸的不斷減小,集成電路產品集塵(chén)度的增加,更容易失(shī)敗或可靠性劣化。例如,當金屬粉塵顆粒(lì)的金屬線,可使金(jīn)屬絲形成短路。如果有酸性離子化合物粉塵(chén)的(de)金屬絲,有腐蝕性,所以潔淨(jìng)室專(zhuān)用集(jí)成電路製(zhì)造_的元(yuán)素。
根據(jù)美國聯邦(bāng)政府頒布的(de)標準[聯邦標(biāo)準209 E(財政司司(sī)長),1992 ],可分為六個等級的無塵室(shì)。1,10級,100級,1000級,10000級,1級,00000級,如(rú)果清(qīng)潔房間的塵埃粒子(zǐ)數描述,可以假定一個塵埃粒子大小(xiǎo)0.5?米,例如,1級(jí),10級,100級無塵(chén)室_粒數(shù)小於或等於1,10,100,如果粒子的大(dà)小是0.5?米,潔淨室等級應在一(yī)個(gè)特定的粒度級數表示。例如:100.2?米(粒徑範圍在0.2?米或更大,密度(dù)不_過75/立方(fāng)?)1年級,0.1?米(mǐ)(粒徑(jìng)範圍在0.1?米或更大,密度不_過35/立方英尺。)。和集成電路製造(zào)所需的無塵室清(qīng)潔度_達到1000級以上。
為保持清潔幹淨的房間,和(hé)工作人員有_的服裝規定;10000和100000個等級,_穿長袍,幹淨(jìng)的衣服,幹淨的鞋子,帽子和口罩;1000級(含),都_穿上特殊的清(qīng)潔連衣,清(qīng)潔鞋裹體,並戴手套和(hé)下(xià)表麵膜,清潔房間清潔定義。
粒子/立方英尺
係列0.1米0.2米0.3米0.4米0.5米
1357.531/
10350753010/
100/750300100/個
1000/,//10007
10000/,//1000070
00000/1/、/100000700
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